加州康科德4月5日电 /新华美通/ -- 诺信有限公司 (Nordson Corporation) (Nasdaq: NDSN) 旗下子公司 March Plasma Systems 今天宣布，该公司已经获得了一家大型半导体制造公司的 FlexTRAK-WR 晶圆加工系统的确定订单。
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该系统预计将于2007年上半年交付，它将被用于高产量的 200 mm 晶圆半岛体设备的制造。
March Plasma Systems 应用部门主管 James Getty 表示：“FlexTRAK-WR 系统不断获得大型半导体客户的欢迎，被用于去光阻清除 (photoresist descum)、晶圆清洁、蚀刻或其他晶圆应用。”
Getty 先生接着表示：“FlexTRAK-WR 系统以具有吸引力的成本和低拥有成本提供了出色的加工能力。这是因为它展示出出色的晶圆上 (on-wafer) 性能，并且具有很高的处理能力，所以对于那些产能大的半岛体设备制造商来说是一个富有吸引力的选择。”
FlexTRAK-WR "200" 系统用来处理在开放的盒子或 SMIF 盒中直径高达 200 mm 的晶圆。FlexTRAK-WR "300" 系统是用来处理 FOUP 盒中直径高达 300 mm 的晶圆。FlexTRAK-WR 系统被设计用于诸如去光阻清除、灰化、蚀刻、表面清洁或去除污等等离子应用。这些系统拥有专有的等离子室 (plasma chamber) 设计和完全整合的晶圆处理器，这种晶圆处理器提供了出色的晶圆上性能、无错晶圆处理和较佳的吞吐量。
欲了解有关 March 的针对晶圆的高级 FlexTRAK-WR 等离子加工系统的更多信息，请访问该公司网站 http://www.marchplasma.com 。
March Plasma Systems 简介
March Plasma Systems 是面向半导体、印刷电路板、生命科学和微电子行业的等离子处理技术全球领导商。该公司的办事处和应用实验室遍布全球，其中包括加州、佛罗里达州、欧洲、新加坡、中国大陆、日本、韩国和台湾地区。凭借20多年不断的创新，March 设计并制造了一套完整的获奖并获得专利的等离子处理系统。一个由科学家和工程师组成的专业员工团队协助开发了可提高产品可靠性并增大产量的等离子处理技术。欲了解更多信息，请访问 March Plasma Systems 的网站 http://www.marchplasma.com 。
March Plasma Systems, Inc. 是精密配制设备全球领先生产商美国诺信有限公司的旗下全资子公司。
